吸着ステージ

吸着ステージは突き上げニードルの突き上げ時にウエハーテープを十分に吸引するように設計されています。バキュームホールのパターンと穴数は突き上げるダイに対して隣接するダイが影響を受けないように設計されます。

吸着ステージのウエハー接触面はシートの滑りを妨げないように滑らかに仕上げられ、平坦度がコントロールされています。定番のプラスチック製の同心円パターンの他に、微細チップ向けに多孔質吸着ステージの採用実績も増えています。